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新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪

更新时间:2024-06-21

仪器型号:XP-703D

简要描述:

XP-703D半导体特气检漏仪是日本新宇宙NEW COSMOS公司生产的测量半导体材料气体(砷化三氢、磷化氢、乙硼烷、硅烷等毒性气体检测仪)

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新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪

XP-703D半导体特气检漏仪是日本新宇宙NEW COSMOS公司生产的测量半导体材料气体(砷化三氢、磷化氢、乙硼烷、硅烷等毒性气体检测仪)

XP-703D半导体特气检漏仪zui适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测。XP-703D毒性气体检测仪通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏。

XP-703D半导体特气检漏仪技术参数

规格

 

XP-703D

检测对象气体

 

半导体材料气体(砷化三氢、磷化氢、乙硼烷、硅烷等)

检测原理

 

型半导体式

能检测的泄漏量 

能检测的浓度

 

砷化三氢

 

AsH3

 

1.0×10-7

 

0.2

 

磷化氢

 

PH3

 

1.5×10-7

 

0.3

 

乙硼烷

 

B2H6

 

0.5×10-7

 

0.1

 

硅烷

 

SiH4

 

2.5×10-7

 

0.5

 

氢气

 

H2

 

5×10-7 Pam3 /s

 

1.0 ppm

应答时间

 

10 

检测表示

 

蜂鸣器发出断续音且警报灯闪烁

电 源 1

 

5号锰干电池4

电池使用时间

 

使用碱性干电池使用约9小时(使用锰干电池约3小时)

使用温度范围

 

0~ 40

外形尺寸

 

W68×H155×D32

重量

 

约 400g

XP-703D毒性气体检测仪附件

 

皮套、排放过滤器、过滤片、检查气体、 标准附属品、5号锰干电池4

另售的选购件

 

Ni-Cd 电池充电器、耳机

XP-703D半导体特气检漏仪也可使用碱性干电池、Ni-Cd 电池

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