加野Kanomax 3950 超小型粒子计数器

重视可视性，大画面，触摸屏显示器，可在附带软件上显示测试数据
双通道： 0.1um0.3um
额定流量：2.83min
通过实现超小型化设计，使粒子计数器嵌入装置设备成为可
0.1 um测量
4.3英寸彩色液晶
标配RS-485,Ethernet,USB
小型化！重量大幅度轻量化
以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中，
本产品通过压倒性的小型

加野Kanomax 3950 超小型粒子计数器

重视可视性，大画面，触摸屏显示器，可在附带软件上显示测试数据

双通道： 0.1um0.3um

额定流量：2.83min

通过实现超小型化设计，使粒子计数器嵌入装置设备成为可

0.1 um测量

4.3英寸彩色液晶

标配RS-485,Ethernet,USB

小型化！重量大幅度轻量化

以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中，

本产品通过压倒性的小型化，使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。

应用范围

作为传感器嵌入到设备装置中

洁净室的清洁度管理

高清洁度区域的管理

加野Kanomax 3950 超小型粒子计数器

测试方法光散乱

粒径区分2粒径（0.1,0.3um)

额定流量0.1CFM(2.83L/分）精度士（符合JIS B9921 和 1$021501-4)

测量时间6秒～99分59秒（1次测量时间）

间隔时间6秒～99分59秒（测量周期）

采样次数1~999回或 连续测试

地点区分99个地点

测量格式重复，单次，连续，计算，1S0,GB*(共6种模式）

测量数据显示时间1~10秒

测量数据显示计数累计值三，超过设定设定值时蜂鸟器报警

zui大可测浓度10,000,000个m

计数效率50土20%(相对于zui小可测粒径附近的标准粒子）

100士108(相对于zui小可测粒径的1.5倍－2倍的PSL粒子）

（符合JIS B9921和1S021501-4)

伪计数1/35min 以下

粒径分解能15%以下（相对0.3um的PSL粒子）

（符合JIS B9921和 IS021501-4)

采样源自带泵

显示器4.3英寸彩色液品，触摸屏显示器

记录媒体本体：USB(Host可对于打印机，USB内存使用，、Device可对于链接PC使用）Ethernet.RS485(9600,19200,38400 baud)

媒体：内存

记录数、格式：zui大10,000个，CSV格式

显示语言英语，日语

电源AC 100~240 V

使用环境15~35'C,0~85%RH(无冷凝）

外形尺寸W150 X H163 X D228 mm

重量3.4kg